Steuerungskomitee
| Dipl.-Phys. Berger, Jürgen | VDI/VDE Innovation + Technik GmbH, Berlin | |
| Dr. Bischopink, Georg | Robert Bosch GmbH, Gerlingen-Schillerhöhe | |
| Dr. Bräuer, Andreas | Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF, Jena | |
| Prof. Dr. rer. nat. Büttgenbach, Stephanus | Technische Universität Braunschweig Institut für Mikrotechnik , Braunschweig | |
| Dipl.-VW Ehret, Wiebke | VDI/VDE Innovation + Technik GmbH, Berlin | |
| Dipl.-Ing. Gabriel, Markus | SUSS MicroTec Lithography GmbH, Garching | |
| Gärtner, Uwe | Gärtner-Electronic-Design-GmbH, Frankfurt/ Oder | |
| Gehring, Carmen | Bundesministerium für Bildung und Forschung; Ref. 524; Demografischer Wandel Mensch-Technik-Kooperation, Bonn | |
| Prof. Dr. h.c. mult. Gessner, Thomas | Fraunhofer Institut für elektronische Nanosysteme ENAS , Chemnitz | |
| Grasshoff, Helge | Continental Automotive Systems, Frankfurt/ Main | |
| Dr. Groß, Christian | VDE e. V., Frankfurt | |
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Hippler, Heinz-Peter Jeuk, Peter Josef |
IVAM Fachverband für Mikrotechnik, Dortmund MST BW - Mikrosystemtechnik Baden-Württemberg e.V. , Freiburg |
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| Jordan, Richard | IHK Darmstadt Rhein Main Neckar , Darmstadt | |
| Dipl.-Phys. Klein, Manfred | Daimler AG, Sindelfingen | |
| Körner, Joachim | Pfeiffer Group, Radolfzell | |
| Prof. Dr.-Ing. Lakner, Hubert | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS, Dresden | |
| Prof. Dr.-Ing. Dr. techn. Lang, Klaus-Dieter | Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM , Berlin | |
| Dr. rer. nat. Lehmann, Mirko | IST AG, Wattwil | |
| Prof. Dr. sc. techn. Mehr, Wolfgang | IHP Institut für innovative Mikroelektronik GmbH, Frankfurt/Oder | |
| Prof. Dr. rer. nat. Mokwa, Wilfried | RWTH Aachen Fakultät für Elektrotechnik , Aachen | |
| Dr. Müller, Gerhard | EADS Deutschland GmbH, München | |
| Philipps, Michael | Endress + Hauser GmbH & Co.KG , Maulburg | |
| Dr. Rau, Bernd | Roth & Rau AG , Hohenstein-Ernstthal | |
| Prof. Dr.-Ing. Dr. e.h. Reichl, Herbert | Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM, Berlin | |
| Dr. Richter, Thomas | MST.factory dortmund TechnologieZentrumDortmund Management GmbH, Dortmund | |
| Prof. Dr. Saile, Volker | Karlsruher Institut für Technologie KIT, Eggenstein-Leopoldshafen | |
| Dr. Scheiter, Thomas | Siemens AG Corporate Technology, München | |
| Prof. Dr.-Ing. Schlaak, Helmut | Technische Universität Darmstadt Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Darmstadt | |
| Prof. Schmid, Ulrich | Technische Universität Wien, Wien | |
| Dr.-Ing. Schmidt, Helge | Tyco Electronics AMP GmbH, Bensheim | |
| Dr.-Ing. Schnabel, Ronald | VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem- und Feinwerktechnik , Frankfurt | |
| Dipl.-Ing. Schwarz, Uwe | X-FAB Semiconductors Foundries AG, Erfurt | |
| Prof. Dr. rer. nat. Seidel, Helmut | Universität des Saarlandes Naturwissenschaftl.-Techn. Fakultät II , Saarbrücken | |
| Dr. Seitz, Stefan | EPCOS AG, München | |
| Dr. Slatter, Rolf | SENSiTEC GmbH, Lahnau | |
| Dr. Thieme, Torsten | memsfab GmbH, Chemnitz | |
| Prof. Dr. Tränkle, Günther | Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik (FBH) im Forschungsverbund Berlin, Berlin | |
| Weitzel, Joachim | Infineon Technologies AG, Neubiberg | |
| Prof. Dr. Zengerle, Roland | Albert-Ludwigs-Universität Freiburg IMTEK - Institut für Mikrosystemtechnik, Freiburg | |
| Prof. Zimmermann, Heiko | Fraunhofer Institut für Biomedizinische Technik IBMT , St. Ingbert |
