Programmkomitee
Ulrich Abelein, Audi AG
Dr. Karin Bauer, EADS Deutschland GmbH
Prof. Dr.-Ing. Wolfgang Benecke, Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT, Itzehoe
Prof. Dr. J. Binder, FESTO AG & CO. KG
Dr. Andreas Bräuer, Fraunhofer-Institut für
Prof. Dr. Karl-Heinz Brenner, Universität Heidelberg
Prof. Dr.-Ing. Joachim Burghartz, Universität Stuttgart
Prof. Dr. rer. nat. Stephanus Büttgenbach, Technische Universität Braunschweig
Dr. Klaus Stefan Drese, Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH
Prof. Dr. Andreas Foitzik ,Technische Fachhochschule Wildau
Prof. Dr.-Ing. Hans-Heinrich, Gatzen Universität Hannover
Prof. Dr.-Ing. habil. Gerald Gerlach, Technische Universität Dresden
Prof. Dr. h.c. mult. Thomas Gessner, Fraunhofer Institut für elektronische Nanosysteme
Helge Grasshoff, Continental Automotive Systems
Prof. Dr. rer. nat. habil. Peter Hauptmann, Otto-von-Guericke-Universität
Prof. Dr.-Ing. habil. Martin Hoffmann, Technische Universität Ilmenau
Dr.-Ing. Roy Knechtel, X-FAB Semiconductor Foundries AG
Dr. Manfred Kohl, Karlsruher Institut für Technologie KIT
Prof. Dr. rer. nat. Heinz Kück, Hahn-Schickard-Gesellschaft
Prof. Dr.-Ing. Hubert Lakner, Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme
Prof. Dr.-Ing. Walter Lang, Universität Bremen
Dr. Christina Leinenbach, Robert Bosch GmbH
Dr. Andreas Leson, Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik
Prof. Dr. Tim C. Lüth, Technische Universität München
Prof. Dr.-Ing. Yiannos Manoli, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Prof. Dr. sc. techn. Wolfgang Mehr, IHP Institut für innovative Mikroelektronik GmbH
Prof. Dr. rer. nat. Ulrich M. Mescheder, Fachhochschule Furtwangen
Dr. Jürgen Mohr, Karlsruher Institut für Technologie KIT
Prof. Dr. Wilfried Mokwa, RWTH Aachen
Prof. Dr.-Ing. Jörg Müller, Technische Universität
Dr. Roland Müller-Fiedler, Robert Bosch GmbH
Prof. Dr. Lienhard Pagel, Universität Rostock
Prof. Dr. Oliver Paul, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Prof. Dr. Holger Reinecke, Universität Freiburg IMTEK
Dr. Martin Richter, Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration
Prof. Dr. Volker Saile, Karlsruher Institut für Technologie
Prof. Dr.-Ing. Helmut Schlaak, Technische Universität Darmstadt
Prof. Ulrich Schmid, Technische Universität Wien
Prof. Dr. rer. nat. Andreas Schütze, Universität des Saarlandes
Prof. Dr.-Ing. Norbert Schwesinger, Technische Universität München
Prof. Dr. rer. nat. Helmut Seidel, Universität des Saarlandes
Prof. Dr. Stepfan Sinzinger, Technische Universität Ilmenau
Dr. Alfred Stett, NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen
Prof. Dr.-Ing. Roland Thewes, Technische Universität Berlin
Dr. Thomas Velten, Fraunhofer-Institut
Prof. Dr. rer. nat. Gerhard Wachutka, Technische Universität München
Dr. Patrick Wagler, Ruhr-Universität Bochum
Prof. Dr. Bernhard Wagner, Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
Prof. Dr. Ulrike Wallrabe ,Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Dr. Lutz Weber, thinXXS Microtechnology AG
Prof. Dr.-Ing. habil. Roland Werthschützky, Technische Universität Darmstadt
Prof. Dr.-Ing. Peter Woias, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Dr.-Ing. Elke Zakel, PAC TECH
Prof. Dr. Roland Zengerle, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg








