Dienstag, 16. Oktober - Konferenzraum 1+2


Entwurf
Leitung J. Mehner, Technische Universität Chemnitz



10:30 - 11:00 Methode zur Berechnung des Einflusses mechanischer Verformung auf Funktionsparameter mikromechanischer Sensoren

H. Rank, R. Maas, M. Heitz, Robert Bosch GmbH
J. Mehner, T. Gessner, Technische Universität Chemnitz




11:00 - 11:20 Emulator für piezoelektrische Aktoren

B. Schemmer, H. Schlaak, Technische Universität Darmstadt



11:20 - 11:40 Generation of Multi-Energy Domain Macromodels of Highly Perforated and Deformable Microstructures Exposed to Squeeze Film Damping

M. Niessner, G. Schrag, G. Wachutka, Technische Universität München



11:40 - 12:00 Untersuchungen der druckabhängigen Eigenschaften eines in Oberflächentechnologie hergestellten Drehratensensors

A. Kulygin, U. Schmid, H. Seidel, Universität des Saarlandes, Saarbrücken






Mikro-Nano-Systeme
Leitung W. Lang, Universität Bremen; A. Leson, Fraunhofer Institut für Werkstoff- und Strahltechnik, Dresden




13:00 - 13:30 Ein Mikromassenspektrometer in MEMS Technologie für mobile und stationäre Anwendungen

J.-P. Hauschild, E. Wapelhorst, J. Müller, Technische Universität Hamburg-Harburg



13:30 - 13:50 Entwicklung einer planaren Radiofrequenz Ionenfalle

M. Kröner, M. Debatin, J. Mikosch, S. Trippel, E. Just, R. Wester, M. Reetz-Lamour, M. Weidemüller, P. Woias, Universität Freiburg



13:50 - 14:10 Systemkonzept eines chipbasierten, paramagnetischen Sauerstoffsensors

P. Krippner, M. Wetzko, P. Szasz, ABB AG Corporate Research
B. Andres, T. Bauer, ABB Automation GmbH




14:10 - 14:30 Elektrothermische Aktoren aus SU-8 für den Einsatz in miniaturisierten Schrittantrieben

D. Eicher, H. Schlaak, Technische Universität Darmstadt



14:30 - 14:50 MEMS-Ultraschallwandlerarray für bildgebende Anwendungen

J. Koblitz, microFAB Bremen GmbH; N. Felix, Vermon SA, Frankreich






Autonome vernetzte Systeme (AVS) – erste Schritte in die Anwendung
Leitung Carmen Gehring, Bundesministerium für Bildung und Forschung, Bonn,
J. Berger, VDI/VDE Innovation + Technik GmbH, Berlin




15:10 - 15:40 System Integration Technologies for Wireless Sensor Nodes

H. Reichl, M. J. Wolf, Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration, Berlin



15:40 - 16:00 Grundlagen und aktuelle Herausforderungen der Kommunikation zwischen verteilten autonomen Systemen

R. Kraemer, Brandenburgische Technische Universität Cottbus



16:00 - 16:20 IT-Sicherheitsanforderungen für die Kommunikation zwischen verteilten autonomen Systemen

M. Ullmann, Bundesamt für Sicherheit in der Informationstechnik, Bonn



16:20 - 16:40 Erfahrungen bei der Entwicklung eines drahtlosen Autonomen Sensornetzes für die Automatisierungstechnik


P. Post, B. Kärcher, Festo AG & Co. KG, Esslingen