Mittwoch, 17. Oktober - Saal 2


Mikroenergietechnik 2

Leitung Leitung: B. Rau, Roth & Rau AG, Hohenstein-Ernstthal

M. Klein, DaimlerChrysler, Böblingen



10:30 - 11:00

Chipintegrierter Brennstoffzellenakkumulator


M. Frank, G. Erdler, C. Müller, H. Reinecke, Universität Freiburg
M. Lehmann, H.-P. Frerichs, Micronas GmbH





11:00 - 11:20

Glukose-Brennstoffzellen als autarke Energieversorgung für medizinische Mikro-Implantate


S. Kerzenmacher, F. von Stetten, R. Zengerle, Universität Freiburg - IMTEK
J. Ducrée, HSG-IMIT, Villingen-Schwenningen





11:20 - 11:40

Piezoelektrischer Bimorphgenerator – Entwurf, Simulation, Messergebnisse



S. Pobering, N. Schwesinger, Technische Universität München





11:40 - 12:00

Micro Energy Harvesting durch Mikrobrennstoffzellen



B. Fleischhauer, A. Kloke, S. Rubenwolf, K. Schuh, C. Schlipf, M. Krüge, C. Müller, O. Prucker, H. Reinecke, J. Rühe, F. von Stetten, R. Zengerle, P. Woias, Universität Freiburg








Mikroenergietechnik 3





13:00 - 13:30

Resonante mikromechanische Energiewandler



A. Huetten, I. Ennen, N.-N. Liu, A. S





13:30 - 13:50

Thermoelektrische Generatoren in Standard Silizium/Aluminium Technologie



I. Kuehne, A. Frey, D. Marinkovic, G. Eckstein, Siemens AG
H. Seidel, Universität des Saarlandes, Saarbrücken





13:50 - 14:10

Hochintegrierte Thermogeneratoren für energieautarke Sensorsysteme



J. Nurnus, A. Schubert, F. Volkert, Micropelt GmbH
H. Böttner, Fraunhofer Institut für Physikalische Messtechnik, Freiburg





14:10 - 14:30

Herstellung von Mikrobolometern auf der Basis von Polymerkompositen



A. Nocke, M. Wolf, H. Budzier, G. Gerlach, Technische Universität Dresden








Mikro-Nano-Integration für die Mikrosystemtechnik


Leitung

B. Michel, Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration, Berlin/Chemnitz
J. Hofinger, Namos GmbH, Dresden





14:50 - 15:20

Potenziale der Mikro-Nano-Integration für die Mikrosystemtechnik



P. Coskina, VDI/VDE Innovation + Technik GmbH, Berlin





15:20 - 15:40

Berührungslose Bauteilmontage – ein neuer innovativer AVT-Ansatz



K.-F. Becker, Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration, Berlin





15:40 - 16:00

Mikro-Nano-Integration am Beispiel eines neuartigen Kohlenstoff-Nanoröhren-Aktors



T. Koker, Forschungszentrum Karlsruhe





16:00 - 16:20

CMOS integrierte intelligente Mikrohaare



P. Gieschke, Universität Freiburg – IMTEK





16:20 - 16:40

Automatisierung in der Nanohandhabung



A. Sill, Carl von Ossietzky Universität Oldenburg