Materialien für Mikrosysteme
Dienstag, 11. Oktober
10:30 - 12:20
europium (Ebene 3)
Sitzungsleitung: O. Paul, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg - IMTEK;
V. Saile, Karlsruher Institut für Technologie
10:30 - 11:00
Übersichtsvortrag
11:00 - 11:20
Neuer hochauflösender und laminierbarer Epoxid-Trockenresistfilm für
extreme Schichtdicken
N. Wangler, C.Müller, H. Reinecke, Universität Freiburg; S. Beck,
G. Ahrens, A. Voigt, G. Grützner, micro resist Technology GmbH,
Berlin
11:20 - 11:40
Galvanische Abscheidung von hochporösen Platin-Elektroden mit
einstellbarer spezifischer Oberfläche für die implantierbare
Glukose-Brennstoffzelle
A. Kloke, C. Köhler, R. Zengerle, S. Kerzenmacher,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
11:40 - 12:00
Lokale Modifikation dielektrischer Eigenschaften von glaskeramischen
Hochfrequenzsubstraten
A. Bittner, U. Schmid, Technische Universität Wien; D. Schwanke,
Micro Systems Engineering GmbH
12:00 - 12:20
Entwicklung von galvanisch abgeschiedenem LIGANi-Al für
Hochtemperaturanwendungen
M. Teutsch, K. Bade, J. Aktaa, Karlsruher Institut für Technologie;
D. Burns, Y. Zhang, K. Hemker, Johns-Hopkins-University, USA
12:20 -13:20
Mittagspause
