Mikrooptische Systeme
Dienstag, 11. Oktober
16:10 - 17:50
platinum (Ebene 2)
Sitzungsleitung: J. Mohr, Karlsruher Institut für Technologie KIT; N.
Schwesinger, Technische Universität München
16:10 - 16:30
Einsatzmöglichkeiten mikrooptischer Komponenten für Maskaligner
Belichtungssysteme
M. Hornung, K. Schindler, U. Vogler, R. Voelkel, Suss MicroTec
Lithography GmbH, Schweiz
16:30 - 16:50
Ultra-kompakter digitaler Array-Projektor
M. Sieler, P. Schreiber, Fraunhofer IOF, Jena
16:50 - 17:10
Positionserfassung von flexiblen Roboterarmen mit einem optischen
Mikrotrackersystem
S. Weinberger, E. Markweg, T. Nguyen, M. Hoffmann, C. Ament,
Technische Universität Ilmenau
17:10 - 17:30
Flachbauendes Mikroskop: Ein mikrooptisches Abbildungssystem für
digitale Nahaufnahmen
A. Brückner, F. Wippermann, R. Leitel, P. Dannberg, W. Buß, B.
Höfer, A. Bräuer, Fraunhofer IOF, Jena; J. Duparré, Pelican Imaging
Corp., USA
17:30 - 17:50
Tragbares Stopped-Flow-Gerät basierend auf Mikrofluidik und optischer
Detektion
I. Frese, R. Bleul, J. Höth, S. Brunklaus, M. Ritzi-Lehnert, K.
Drese, B. Kresanek, Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH
19:00
Abendveranstaltung
