Mikrosystemtechnikkongress

Posterpräsentation I
Dienstag, 13.10.2009,
14:20 - 15:50, Foyer

1 Sensoren und Systeme für mechanische und physikalische Größen

• 1.1 Ein Mikromassenspektrometer mit integrierter Mikrokanalplatte
  M. Reinhardt, J.-P. Hauschild, E. Wapelhorst, J. Müller, Technische Universität Hamburg-Harburg
• 1.2 Electrostatic Voltage Sensor Based on a High Aspect-Ratio Copper Actuator which is Levitating over a Small Air Gap
  J. Dittmer, S. Büttgenbach, Technische Universität Braunschweig; R. Judaschke, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig
• 1.3 Mikro-Hysteresemesssensor zur Vermessung anisotroper Dünnfilme
  E. Flick, H.-H. Gatzen, Leibniz Universität Hannover
• 1.4 Integrierte Wandlerschaltung zur optimierten Leistungsentnahme aus Piezogeneratoren
  T. Hehn, Y. Manoli, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 1.5 Dünnschichtsensorik zur Prozessüberwachung in Stanzprozessen
  S. Biehl, S. Staufenbiel, FhG IST, Braunschweig
• 1.6 Zur transienten Temperaturentwicklung in einem fluidischen Infrarot-Detektor auf der Basis der infrarotempfindlichen Sensillen des Schwarzen Kiefernprachtkäfers Melanophila acuminata
  H. Soltner, H. Bousack, Forschungszentrum Jülich; H. Schmitz, Universität Bonn
• 1.7 Entwurf und Kalibrierung geeigneter Abstandssensoren für den Einsatz in Linearführungen für Mikroaktoren
  H. Kayapinar, B. Denkena, Leibniz Universität Hannover
• 1.8 Konzept und Modellierung eines piezoelektrischen 3DTastelementes auf Basis von Aluminiumnitrid-Dünnschichten
  T. Polster, M. Hoffmann, Technische Universität Ilmenau
• 1.9 Multi Axial Force Sensor for Coordinate Measuring Machine
  A. Tibrewala, A. Phataralaoha, S. Büttgenbach, Technische Universität Braunschweig
• 1.10 Integration von MEMS-Inertialsensoren in Smart-RFIDLabels zur Transportüberwachung empfindlicher Güter
  M. Nowack, Technische Universität Chemnitz
• 1.11 Ein kostengünstiges Eingabegerät für Virtual Reality Systeme
  M. Romanovas, L. Klingbeil, M. Trächtler, Y. Manoli, HSG-IMIT, Stuttgart; T. Link, MicroMountains Applications AG, Villingen-Schwenningen; A. Wierse, VISENSO GmbH, Stuttgart
• 1.12 Mikrotechnischer Strömungssensor für den Einsatz in rauen Umgebungen
  M. Ashauer, S. Billat, H. Ashauer, M. Storz, G. Kattinger, F. Hedrich, R. Zengerle, HSG-IMIT, Villingen-Schwennigen; L. Lust, ELBAU Elektronik GmbH, Berlin
• 1.13 Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) für Sensor- und Aktoranwendungen
  H.-H. Gatzen, Leibniz Universität Hannover
• 1.14 Charakterisierung eines kapazitiven Positionserfassungssystems für einen Lorentzkraft betriebenen Mikroroboter
  C. Boese, M. Feldmann, S. Büttgenbach, Technische Universität Braunschweig
• 1.15 Nickelhaltige Kohlenwasserstoff-Nanokomposite als Sensorschichten für die Kraft- und Drucksensorik
  R. Koppert, D. Göttel, A. C. Probst, O. Freitag-Weber, G. Schultes, Hochschule für Technik und Wirtschaft des Saarlandes, Saarbrücken; U. Werner, INM Leibniz-Institut für Neue Materialien gGmbH, Saarbrücken
• 1.16 Ultra high Precision 3D Microprobe for CMM Application
  S. Bütefisch, G. Dai, H.-U. Danzebrink, U. Brand, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig; S. Büttgenbach, Technische Universität Braunschweig
• 1.17 Ansteuerung des SIS-Massenseparators im planar integrierten Mikro-Massenspektrometer
  G. Quiring, J.-P. Hauschild, E. Wapelhorst, J. Müller, Technische Universität Hamburg-Harburg
• 1.18 Aufbau eines statischen low-cost Fourierspektrometers
  O. Buse, Leibniz Universität Hannover
• 1.19 Thermodynamischer Neigungs- und Beschleunigungssensor „Inclinos” zur gleichzeitigen Erfassung der Lage undBeschleunigung im Raum
  S. Junge, W. Suft, P. Gerlesberger, F. Salzberger, Thyracont Vacuum Instruments GmbH, Passau; H. Plöchinger, Plöchinger Patent, Freinberg/Österreich
• 1.20 Schaltung zur effektiven Nutzung der Energie aus piezoelektrischen Quellen
  M. Menacher, N. Schwesinger, Technische Universität München
• 1.21 Assembly of Pressure Sensor Chips as an Example for Integrated MEMS for High Temperature Applications
  R. Klieber, A. Göhlich, H. Khiem Trieu, A. Grabmaier, FhG IMS, Duisburg
• 1.22 Combined MEMS Inertial Sensors for IMU Applications
  P. Merz, K. Reimer, M. Weiß, O. Schwarzelbach, FhG ISIT, Itzehoe; A. Giambastiani, A. Rocchi, M. Heller, SensorDynamics AG, Navacchio, Italien

2 Sensoren und Systeme für chemische Größen

• 2.1 Influence of Micro-Burner Geometry on Flame Stability
  W. Kuipers, S. Bohne, W. Bin You, J. Müller, Technische Universität Hamburg-Harburg
• 2.2 Paramagnetischer Sauerstoffsensor in Mikrosystemtechnik
  S. Vonderschmidt, J. Müller, Technische Universität Hamburg-Harburg
• 2.3 Dünnschichtsensorik auf Titandioxidbasis zur Messung von Sauerstoffkonzentrationen bei niedrigen Temperaturen
  S. Biehl, F. Hauschild, L. Wolf, FhG IST, Braunschweig

3 Medizinische und biologische Sensoren und Mikrosysteme

• 3.1 Integration of Microfluidics Features with Microneedle Electrode Arrays for Intracellular Recording Applications
  J. Held, J. Gaspar, P. Ruther, O. Paul, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg; P. Koester, W. Baumann, C. Tautorat, Universität Rostock; M. Hagner, Universität Konstanz; A. Cismak, A. Heilmann, FhG IWMH, Halle
• 3.2 FEM-Simulation basierte Design-Optimierung von elektrochemischen Sensorelektroden zum Nachweis biologischer Moleküle
  A. Frey, M. Schienle, I. Kühne, K. Hiltawsky, S. Meyburg, Siemens AG, München/Erlangen; H. Seidel, Universität des Saarlandes, Saarbrücken
• 3.3 MEMS-Filter zur Zellen-Probennahme, Anreicherung und Detektion
  A. Friedberger, A. Helwig, EADS Innovation Works, München
• 3.4 Entwicklung eines Mikrochips für Hochdurchsatzuntersuchungen von biologischen Membrankanälen
  G. Baaken, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 3.5 Parylen-C-basierte organische Schaltungen für Applikationen in Implantaten
  D. Feili, H. Seidel, Universität des Saarlandes, Saarbrücken; M. Schuettler, T. Stieglitz, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 3.6 Entwicklung eines Diagnosesystems zur Behebung graphomotorischer Störungen von Kindern
  J. Prokop, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Eggenstein-Leopoldshafen
• 3.7 Enzymatische Bio-Brennstoffzelle auf Basis von Kohlenstoffnanoröhrchen (CNTs) / Chitosan  Membranen
  M. Bogner, M. Schnaithmann, J. Sägebarth, H. Sandmaier, Universität Stuttgart
• 3.8 Integrierter Mikrobioreaktor zur parallelen 3D-Zellkulturführung
  J. Hampl, Technische Universität Ilmenau
• 3.9 Automatisierte chipbasierte Extraktion und Nachweis von HPV-mRNA aus Gebärmutterhals-Abstrichen
  T. Baier, T. Hansen-Hagge, Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH
• 3.10 Eine neuartige mikrofluidische Biochip-Plattform für die dynamische Detektion und Quantifikation von Proteinen
  M. Rendl, T. Brandstetter, J. Rühe, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 3.11 PDMS-Mikrokomponenten für die Abtrennung von Biomasse zur Integration in Lab-on-a-Chip Systemen
  S. Demming, A. Balck, S. Büttgenbach, A. Al-Halhouli, Technische Universität Braunschweig
• 3.12 Lab-on-chip-System zur Isolierung und Charakterisierung zirkulierender Tumorzellen
  T. Röser, Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH
• 3.13 Nicht-invasive Signaltransduktion mit Sensorbeads für das toxikologische Screening in der Mikrofluidsegment-Technik
  J. Cao, A. Funfak, S. Schneider, J. M. Köhler, Technische Universität Ilmenau; O. S. Wolfbeis, Universität Regensburg
• 3.14 Technologie-Plattform für DNA Biochip-Anwendungen
  A. Bönisch, T. Brandstetter, J. Rühe, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg; A. Mader, Universitätsklinikum Freiburg
• 3.15 Antikörper-Microarrays basierend auf mikrostrukturierten oberflächengebundenen Hydrogelen für klinische Anwendungen
  A. Evers, M. Moschallski, T. Brandstetter, J. Rühe, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 3.16 Langzeitkultur von neuronalen Zellen in Mikrokanälen mit substratintegrierten Mikroelektroden
  R. Galneder, S. Nötzold, D. Martin, W. Nisch, A. Stett, NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut, Reutlingen; K. H. Boven, A. Möller, MCS Multichannel Systems, Reutlingen; C. Hembd, TILL Photonics/Agilent Technologies, Gräfelfing; V. Kahl, ibidi Integrated BioDiagnostics, Martinsried
• 3.17 Vermessung von Reaktionsprodukten in Mikrokanälen mit Hilfe von Multispektralsensoren
  K. Dornbusch, M. Schimmelpfennig, K.-H. Feller, Fachhochschule Jena
• 3.18 Siliziumbasierte O2-FET Biosensoren für die zelluläre Diagnostik
  Y. Eminaga, M. Brischwein, H. Grothe, B. Wolf, Technische Universität München; J. Wiest, Innovationszentrum Medizinische Elektronik cellasys GmbH, München
• 3.19 XpH-Messung mit iridiumoxidbeschichteten Mikroelektroden
  W. Wirths, M. Remm, H. Grothe, B. Wolf, Technische Universität München; J. Wiest, Innovationszentrum Medizinische Elektronik cellasys GmbH, München
• 3.20 Untersuchungen zur Stabilität von redoxpolymerbasierten Enzymelektroden
  C. Bunte, O. Prucker, J. Rühe, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 3.21 Deformationsanalyse an biologischen Modellsystemen
  K. Lietzau, A. Foitzik, Technische Fachhochschule Wildau
• 3.22 Optimierte digitale Ansteuerung eines CMOS-basierten Chiparrays zur DNA-Detektion
  I. Kühne, A. Frey, M. Schienle, Siemens AG, München; P. Kruppa, Technische Universität München
• 3.23 Textile und textilbasierte Elektrodensysteme – neue Möglichkeiten für sensorische und aktuatorische Applikationen
  C. Rotsch, H. Oschatz, S. Hanus, A. Neudeck, D. Zschenderlein, K. Gnewuch, U. Möhring, Textilforschungsinstitut Thüringen-Vogtland e.V., Greiz
• 3.24 Biologisch inspirierte aktive Elektroortungs-Sensoren
  G. von der Emde, Universität Bonn; K. Mayekar, H. Bousack, M. Pabst, Forschungszentrum Jülich

4 Theorie und Entwurfsmethoden

• 4.1 Coil topology optimization method for electromagnetic vibration energy harvesting devices
  D. Spreemann, B. Folkmer, Y. Manoli, HSG-IMIT, Villingen-Schwenningen
• 4.2 Methoden für die Charakterisierung von mechanischen Spannungen in mikromechanischen Elementen
  A. Shaporin, R. Schmiedel, J. Mehner, Technische Universität Chemnitz; D. Billep, J.-P. Sommer, T. Geßner, FhG ENAS, Chemnitz
• 4.3 Stirnwellen in Kavitäten von mikrostrukturierten Plasmastempeln
  V. Ermel, Technische Universität Braunschweig
• 4.4 Entwicklungsumgebung für den Entwurf von Lab-on-a-Chip-Systemen für die Tropfenbasierte Mikrofluidik
  N. Gleichmann, M. Kielpinski, D. Malsch, G. Mayer, T. Henkel, Institut für Photonische Technologien, Jena
• 4.5 Validierung von Mikrogetrieben – Erhöhte Korrelation zwischen Simulation und Prüfstandsversuch
  A. Albers, P. Börsting, T. Deigendesch, H.-G. Enkler, P. Leslabay, Universität Karlsruhe (TH)
• 4.6 EasyKit - Entwicklungsmethodik für den Entwurf
  G. Bauer, efm-systems GmbH, Stuttgart
• 4.7 Stressuntersuchung und Optimierung von SOI-basierten Membranen
  W. Kronast, U. Mescheder, R. Huster, Hochschule Furtwangen
• 4.8 Routing-Protokoll für komplexe energieautarke Funknetze
  F. Schmidt, W. Heller, EnOcean GmbH, Oberhaching; D. Rahusen, Steinbeis Transferzentrum Embedded Design und Networking an der Dualen Hochschule Baden-Württemberg, Lörrach; A. Sikora, Duale Hochschule Baden-Württemberg, Lörrach

5 RF MEMS, Resonatoren, Oszillatoren

• 5.1 Elektromagnetisches Wandlerarray aus 3D-Mikrospulen und einer magnetischen PDMS-Membran
  B. Mack, K. Kratt, M. Stürmer, R. Lausecker, U. Wallrabe, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 5.2 Großsignalverhalten von MEMS-Varaktoren als Abstimmelement in Duplexfiltern für Basisstationen
  R. Mzyk, G. Fischer, Universität Erlangen-Nürnberg
• 5.3 Compact RF Model for S-Parameter Characteristics of RFMEMS Capacitive Switches
  M. Kaynak, B. Tillack, IHP Microelectronics, Frankfurt (Oder); Y. Gurbuz, S. Zihir, Sabanci University, Istanbul/Türkei

6 Messtechnik und Zuverlässigkeit

• 6.1 Strength and Reliability Properties of Eutectic Bonded MEMS Structures
  A. Schneider, H. Rank, R. Müller-Fiedler, Robert Bosch GmbH, Gerlingen-Schillerhöhe; O. Wittler, FhG IZM, Berlin; H. Reichl, Technische Universität Berlin
• 6.2 Langzeituntersuchungen zur Eignung von SU-8 als Konstruktionswerkstoff
  A. Kohlstedt, M. Staab, H. Schlaak, Technische Universität Darmstadt
• 6.3 Robotergestütztes Mess- und Handlingsystem für Qualitätsmessungen an Mikroteilen
  G. Battenberg, A. Kremper, Battenberg ROBOTIC GmbH & Co. KG, Marburg
• 6.4 Einfluss von Nanokompositen auf die Zuverlässigkeit und die mechanischen Eigenschaften von Feuchtesensoren
  J. Hammacher, B. Seiler, Chemnitzer Werkstoffmechanik GmbH; P. Saettler, K. Kreyssig, J. Martin, B. Michel, FhG ENAS, Chemnitz
• 6.5 Spannungsmessung hoher Ortsauflösung an Komponenten der Mikrosystemtechnik
  D. Vogel, B. Michel, FhG ENAS, Chemnitz; A. Gollhardt, FhG IZM, Berlin
• 6.6 Nanopositionier- und Nanomessmaschinen – universelle skalenübergreifende Werkzeuge von Makro bis Nano
  R. Theska, E. Manske, Technische Universität Ilmenau
• 6.7 Beobachtung des unterkritischen Risswachstums in elektronischen Package-Materialien durch den Einsatz der IRThermographie
  D. May, FhG IZM, Berlin
• 6.8 Schichtdickenmessungen an ultradicken Mehrschicht-Mikrostrukturen
  R. Engelke, micro resist technology GmbH, Berlin; U. Richter, SENTECH Instruments GmbH, Berlin