2 Optische Mikrosysteme
2.1 Neue Bearbeitungsstrategie und Fügetechnik für
mikrooptische Bauteile und Systeme
M. Wagner, K. Dilger, Technische Universität Braunschweig
2.2 Realisierung eines integrierten mikrooptischen
Fluoreszenzdetektors
A. Grewe, S. Sinzinger, S. Stoebenau, Technische Universität
Ilmenau
2.3 Mikrospiegelbasierter Zeilenlichtmodulator
M. Friedrichs, S. Sinning, H. Lakner, Fraunhofer IPMS, Dresden
2.4 Modulare Adaptierbare Mikrooptische Systeme für die Mess-
und Nachrichtentechnik
S. Schüle, S. Hengsbach, H. Sieber, F. Müller, U. Hollenbach, J. Mohr,
Karlsruher Institut für Technologie, J. Leuthold, Universität
Karlsruhe
2.5 Piston-Effekt freier Mikrodrehspiegel für
Laserinterferometrie in SOI Technologie
W. Kronast, U. M. Mescheder, B. Müller, Hochschule Furtwangen; A. Nimo,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
2.6 Erster Prototyp eines Siliziumphotomultipliers im
CiS
L. Long, CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik
GmbH, Erfurt
2.7 Herstellung großflächiger optischer Gitter mittels
Röntgentiefenlithographie und anschließender Stapelung
M. Börner, A. Hofmann, B. Hummel, J. Mohr, Karlsruher Institut für
Technologie; R. Brunner, H. Lohrke, FH Jena
2.8 Miniaturized Wolter-Optics for Hard X-rays
A. Last, F. Marschall, J. Mohr, V. Nazmov, H. Vogt, M. Simon,
Karlsruher Institut für Technologie
2.9 Einsatz von Bidirektionalen Mikrodisplays in der
Messtechnik als invers-konfokaler Sensor
C. Grossmann, S. Zwick, F. Perske, S. Riehemann, G. Notni, A.
Tünnermann, Fraunhofer IOF, Jena; J. Baumgarten, B. Richter, P.
Wartenberg, R. Herold, U. Vogel, S. Brenner, Fraunhofer IPMS,
Dresden
2.10 SiO2-Membransysteme zur Abstimmung von photonischen
SOI-Wellenleitern
J. Amthor, O. Horn, T. Lipka, A. Savov, J. Müller, Technische
Universität Hamburg-Harburg
2.11 NIR-OLED-Integration auf CMOS-Untergründen
O. Hild, Fraunhofer IPMS, Dresden
