12 RF MEMS, Resonatoren, Oszillatoren
12.1 HF-MEMS Schalter mit ohmschen Kontakt und lateraler
Bewegungsrichtung
S. Leidich, S. Kurth, J. Froemel, Fraunhofer ENAS, Chemnitz; M. Nowack,
A. Bertz, C. Kaufmann, T. Geßner, Technische Universität Chemnitz; A.
Akiba, K. Ikeda, Sony Corporation, Japan
12.2 Steuerbares MEMS-Irisfilter für
W-Band-Hohlleiteranwendungen
F. Dassinger, A. Kohlstedt, C. Fritzsch, R. Jakoby, H. F. Schlaak,
Technische Universität Darmstadt
12.3 Induktiv gekoppelte RF Resonatoren für drahtlose
NMR-Analyse
K. Kratt, V. Badilita, J. Korvink, U. Wallrabe,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg - IMTEK; B. Fassbender, D.
Sakellariou, CEA Saclay, Gif-sur-Yvette, France
12.4 Kapazitiver MEMS-Mischer und Signalfilter für wake up
receiver
S. Kurth, S. Leidich, T. Geßner, Fraunhofer ENAS, Chemnitz; S. Voigt,
M. Nowack, A. Bertz, Technische Universität Chemnitz
