6 Mikro-Nano-Integration, nanoskalige Materialien und Technologien
6.1 Messung der thermoelektrischen Eigenschaften von Silizium-Nanosäulen
A. Stranz, J. Kaehler, E. Peiner, Technische Universität Braunschweig; A. Waag, Technische Universität Berlin
6.2 Optisch gepulste Mikroplasmaquelle für die Integration von Nanotomographie in eine Nanomessmaschine
T. Polster, M. Hoffmann, Technische Universität Ilmenau
6.3 CNT- und CNT/Polymer-Komposit-Elektroden für Neuronale Diagnostik
R. Gerwig, K. Fuchsberger, M. Stelzle, NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut an der Universität Tübingen
6.4 Mittels Nanostrukturierung optimierte Bimorph-Biegeaktoren großer Auslenkung
L. Müller, C. Kremin, M. Hoffmann, Technische Universität Ilmenau
6.5 Oberflächenverstärkte Raman-Spektroskopie, SERS auf laser-lithografisch nano-strukturierten Oberflächen für empfindliche Analytik
T. Klotzbücher, Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH
6.6 Magnetisches Nanoaktorsystem
J. Hartbaum, P.-J. Jakobs, H. Leiste, M. Kohl, Karlsruher Institut für Technologie
6.7 Mikrothermoformen und Mikroblasformen nanostrukturierter Polymerfilme - Replikationsverfahren zur Mikro-Nano-Integration
M. Heilig, M. Schneider, H. Dinglreiter, M. Worgull, Karlsruher Institut für Technologie
6.8 Multielektroden-Array mit Elektroden aus vertikalen Kohlenstoff-Nanoröhren für die extrazelluläre Ableitung von Aktionspotentialen
C. Nick, C. Thielemann, Hochschule Aschaffenburg; R. Joshi, H. F. Schlaak, J. J. Schneider, TU Darmstadt
6.9 Dispensieren biologischer und chemischer Agenzien in Biochip- und Biosensor-Systemen: Skalierung der Produktion multiplexer Diagnostika mit kleinsten Flüssigkeitsmengen
G. Bared, Scienion AG, Berlin
6.10 Strukturierte Herstellung und In-Situ-Erzeugung von metallischen Mikro- und Nanodrahtarrays in Mikrosystemen
S. Quednau, H. F. Schlaak, Technische Universität Darmstadt
