8 Sensoren und Systeme für mechanische und physikalische Größen
8.1 Ein Smart Label zum Auslesen und Übertragen von
Temperaturwerten basierend auf organischer Elektronik
S. Pankalla, R. Ganesan, M. Glesner, Technische Universität Darmstadt;
J. Krumm, K. Ludwig, PolyIC, Fürth
8.2 Entwicklung von Dünnschichtsensoren mit kleiner
Strukturbreite auf dünnen isolierenden Schichten
E. Schmaljohann, Physikalisch-Technische Bundesanstalt,
Braunschweig
8.3 Multisensormodul für die
Mikroverfahrenstechnik
T. Frank, G. Brokmann, A. Steinke, S. Steffen, CiS Forschungsinstitut
GmbH, Erfurt
8.4 5-Loch-Sonde mit integrierter Sensorik zur Messung
hochfrequenter Druckschwankungen
T. Beutel, T. Niesel, M. Leester-Schädel, S. Büttgenbach, Technische
Universität Braunschweig; P. Paces, Czech Technical University in
Prague, Czech Republic
8.5 AlN basierte Sensoren auf Basis flexibler Substrate für
energieautarke Sensorsysteme
M. Grosser, T. Braun, H. Seidel, D. Feili, Universität des Saarlandes,
Saarbrücken
8.6 Sensorentwicklung für energieautarke Mikrosysteme in
Werkzeugmaschinen
S. Biehl, S. Staufenbiel, Fraunhofer IST, Braunschweig
8.7 Piezoresistive Dünnschichtsensorik auf Basis amorpher
Kohlenwasserstoffschichten
S. Biehl, Fraunhofer IST, Braunschweig
8.8 Dünnschichtsensorik zur Online-Überwachung von
Scherschneidprozessen
S. Biehl, F. Hauschild, S. Staufenbiel, Fraunhofer IST,
Braunschweig
8.9 Kapazitive Sensormessungen innerhalb eines piezogetriebenen
Mikrosystems
K. Warkentin, Institut für Mikroelektronik, Stuttgart; U. Baumann,
Metec AG, Stuttgart
8.10 Materialintegrierte Sensorschicht basierend auf Quantum
Dot Lumineszenz
J. Martin, D. Piasta, T. Kießling, T. Otto, T. Geßner, Fraunhofer ENAS,
Chemnitz; U. Staudinger, E. Demir, P. Pötschke, B. Voit,
Leibniz-Institut für Polymerforschung, Dresden
8.11 Kontaktfreie Vermessung dispensierter Flüssigkeitstropfen
im Nanoliterbereich mittels eines kapazitiven
Tropfensensors
A. Ernst, BioFluidix GmbH, Freiburg; R. Zengerle, P. Koltay,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg – IMTEK
8.12 Performance modeling and characterization of AlN
resonator
F. Qiu, P. Schwarz, D. Feili, H. Seidel, Universität des Saarlandes,
Saarbrücken; X. Wu, National University of Defense Technology,
China
8.13 Untersuchungen zur Kombination von Heißfilmen und
piezoresistiver Drucksensorik auf einem Chip
T. Beutel, A. Holle, M. Leester-Schädel, S. Büttgenbach, Technische
Universität Braunschweig
8.14 Hochauflösende magnetische Zeilensensoren zur 2D- und
3D-Analyse von Magnetfeldern in technischen
Applikationen
G. Flocke, M. Hetterich, F. Schütz, IC-Haus GmbH, Bodenheim 8.15
Gekoppelte Simulationen eines Micro Permanent Magnetic Linear
Contactless Displacement Sensors
H. Gao, F. Greiner, T. Weiland, H. F. Schlaak, Technische Universität
Darmstadt
8.16 Entwurf und Herstellung hybrider dreiachsiger
Sensormodulkonzepte
B. Goj, L. Dittrich, T. Erbe, M. Hoffmann, Technische Universität
Ilmenau; G. Dumstorff, Universität Bremen
8.17 Softwaregesteuerte Kalibrierung eines Si-Kraftsensors für
die automatisierte Zellinjektion
N. Ferreira, T. Beutel, S. Büttgenbach, Technische Universität
Braunschweig
8.18 PIMMS, ein universell einsetzbares
Mikromassenspektrometer
G. Quiring, M. Reinhardt, J. Müller, Technische Universität
Hamburg-Harburg
8.19 Mikroelektromechanischer Acoustic Emission Sensor mit
inhärenter Störunterdrückung und Bandpass-Charakteristik
A. Sorger, C. Auerswald, M. Dienel, A. Shaporin, J.Mehner, Technische
Universität Chemnitz
8.20 Geregelte Auslese eines AMR-Sensors mit impliziter
Digitalisierung des magnetischen Eingangssignals
M. Kuderer, S. Monastyrnyy, Y. Manoli, Albert-Ludwigs-Universität
Freiburg – IMTEK
8.21 Simulation und Verifikation der Vibrationsempfindlichkeit
von mikromechanischen Drehratensensoren im
Automobilbereich
V. Albrecht, J. Lohmann, B. Schmid, Continental AG, Hannover
8.22 SpOGS - Speed Over Ground Sensor - Direkte, kontaktlose
Messung der Geschwindigkeit eines Fahrzeugs relativ zum
Grund
W. Fritz, T. Zuccaro, W. Jöckel, B. Schmid, Continental AG,
Hannover
8.23 Optoelektronischer Rauheitssensor auf Basis kompakter
Strahler-Empfänger-Baugruppen
M. Will, CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik
GmbH, Erfurt
8.24 Fehlerfrüherkennungssystem für Flugzeugpropeller auf der
Basis integrierter MFC-Sensoren
N. Ruemmler, F. Schlott, Amitronics; J. Leschik, H. Gesch, A. Harasim,
Fachhochschule Landshut; S. Schmitt-Walter, SWAC Schmitt-Walter
Automation Consult GmbH, Oberhaching; M. Albrecht, MT-Propeller GmbH,
Atting
8.25 Architecture of an Integrated AMR Current Sensor, IACS
System for a Wide Range of Automotive Applications
W. Schreiber-Prillwitz, A. Nebeling, Elmos Semiconductor AG, Dortmund;
G. von Manteuffel, Sensitec GmbH, Lahnau
8.26 Messanordnung zur Optimierung mechanischer Spannungen an
Siliziumsensoren
H. Strutzberg, CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und
Photovoltaik GmbH, Erfurt
8.27 Nichtlineare Dynamik eines multiphysikalischen
Mikrobalkens
C. Roeser, T. Sattel, I. Rangelow, Technische Universität Ilmenau
8.28 Adaptive Digital Signal Processor based on Floating Point
Units for Rapid Prototyping of Electronic Units in Adaptronic
Systems
F. Samman, F. A. Samman, M. Glesner, Technische Universität
Darmstadt
