11 Theorie und Entwurfsmethoden
11.1 Abbildung von Erfahrungswissen zur Unterstützung des
Entwurfsprozesses in der Mikrotechnik
A. Albers, T. Turki, Karlsruher Institut für Technologie
11.2 Fehlertolerante und fertigungsgerechte Entwurfsauslegung
mikrooptischer Systeme
I. Sieber, Karlsruher Institut für Technologie
11.3 Ein Funktionskatalog zur Unterstützung verteilter und
hybrider Produktentstehungsprozesse in der
Mikrosystemtechnik
A. Albers, P. Börsting, S. Matthiesen, Karlsruher Institut für
Technologie
11.4 Vorsteuerung der longitudinalen Eigendynamik von
Sonotroden
S. Klose, Technische Universität Darmstadt
11.5 Methodik und Werkzeuge für die kundenspezifische
Produktentwicklung von Mikro- und Nanosystemen
T. Schmidt, K. Hahn, M. Mielke, R. Brück, Universität Siegen; D.
Ortloff, J. Popp, Process Relations GmbH, Dortmund
11.6 Numerische Multiphysiksimulationen für mikrofluidische
LifeScience-Anwendungen
B. Hagmeyer, M. Stelzle, NMI Natural and Medical Sciences Institute,
Reutlingen; S. Zibek, Fraunhofer IGB, Stuttgart
11.7 Nonlinear hardening spring with Optimized characteristic
for vibration transducers based on beam structures
D. Spreemann, HSG-IMIT, Villingen-Schwenningen
11.8 System-Simulation eines MEMS-basierten piezoelektrischen
Energy-Harvester-Moduls
D. Hohlfeld, Universität Reutlingen; T. Bechtold, E. Rudnyi, CADFEM
GmbH, Dortmund; R. van Schaijk, IMEC / Holst Centre, Eindhoven,
Niederlande
