Mikrosystemtechnikkongress

Dienstag, 13. Oktober

• Sitzungsleiter:
  M. Leester-Schädel, Technische Universität Braunschweig
  K.-H. Lust, LTi Drives GmbH, Lahnau
• 10:30 - 11:00 TMR-Schichtsysteme für Sensoranwendungen
  A. Gerken, J. Paul, Sensitec GmbH, Mainz
• 11:00 - 11:20 Magnetische Nanopartikel - Erfolgsgarant für druckbare GMR-Technologie
  A. Hütten, Universität Bielefeld
• 11:20 - 11:40 Dreidimensionale Hallsensorik für die Anwendung im Kfz
  U. Köhler, T. Lorenz, Hella KGaA Hueck & Co., Lippstadt
• 11:40 - 12:00 Herstellung von 3D-Mikrospulen in einem effizienten MST-Prozess
  K. Kratt, V. Badilita, T. Burger, J. Korvink, U. Wallrabe, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg; J. Mohr, M. Börner, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Eggenstein-Leopoldshafen

• Sitzungsleiter: W. Benecke, FhG ISIT, Itzehoe
  R. Knechtel, X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt
• 13:00 - 13:20 Neue SiC Drucksensor-Technologie für raue Umgebungen
  N. Behnel, Robert Bosch GmbH, Gerlingen
• 13:20 - 13:40 Piezoresistive Dünnschichtsensorik integriert in Unterlegscheibensystemen zur Kraftmessung
  S. Biehl, S. Staufenbiel, FhG IST, Braunschweig
• 13:40 - 14:00 Wafer-Scale Fabrication of Piezoresistive Cantilever Sensors
  H. Bartuch, S. Völlmeke, CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, Erfurt; L. Doering, U. Brand, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig; E. Peiner, Technische Universität Braunschweig
• 14:00 - 14:20 Hochauflösender flüssigkeitsbasierter kapazitiver Neigungssensor
  A. Schwenck, K.-P. Fritz, H. Kück, V. Mayer, HSG-IMAT, Stuttgart; A. Fries, A. Pojtinger, U. Remer, 2E mechatronic GmbH & Co. KG, Stuttgart

15:50 - 17:10 Messtechnik und Zuverlässigkeit
ECC Raum 1

• Sitzungsleiter:
  P. Hauptmann, Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
  H. Steinberger, Hochschule München
• 15:50 - 16:10 Tactile Metrology for High-Aspect-Ratio Micro Bores
  E. Peiner, A. Stranz, Technische Universität Braunschweig; L. Doering, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig
• 16:10 - 16:30 CMOS Stressmesssystem zur Charakterisierung von Belastungen auf MEMS Bauteile
  K. Niehoff, FhG IZM, Oberpfaffenhofen
• 16:30 - 16:50 Drahtloses Auswertesystem für kapazitive Sensoren
  R. Nopper, Robert Bosch GmbH, Gerlingen-Schillerhöhe; R. Niekrawietz, L. Reindl, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 16:50 - 17:10 Ermittlung von mechanischen Defekten in Mikrosystemen anhand dynamischer Messungen für die Produktionsüberwachung
  R. Gerbach, M. Petzold, FhG IWMH, Halle; M. Ebert, FhG CSP, Halle

10:30 - 12:00 Aufbau- und Verbindungstechnik
ECC Raum 2

• Sitzungsleiter:
  U. Schmid, Technische Universität Wien
  B. Michel, FhG IZM, Berlin
• 10:30 - 11:00 Trends in the Assembly and Packaging of MEMS
  J. Wilde, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 11:00 - 11:20 Ausgewählte Prozesstechnologien für eine Chip-zu-Wafer Integration von MEMS und ASIC
  P. Lange, S. Gruenzig, N. Marenco, W. Reinert, S. Warnat, FhG ISIT, Itzehoe
• 11:20 - 11:40 Solid-Liquid-Interdiffusion Bonding für 3D-Integration und Wafer-Level-Packaging
  M. Baum, M. Wiemer, T. Geßner, FhG ENAS, Chemnitz; L. Hofmann, Technische Universität Chemnitz
• 11:40 - 12:00 Bondenergie-Messung in situ während des Temperns beim Direktbonden von Glas und Silizium
  M. Eichler, P. Hennecke, C.-P. Klages, FhG IST, Brau nschweig; B. Michel, Technische Universität Braunschweig

13:00 - 14:20 Integration und Rapid Prototyping
ECC Raum 2

• Sitzungsleiter
  C. Leinenbach, Robert Bosch GmbH, Gerlingen
  P. Woias, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 13:00 - 13:20 CMOS Post-Processing für kompakte, intelligente Mikrosysteme
  H. Vogt, FhG IMS, Duisburg
• 13:20 - 13:40 Ultradünner RFID-Chip in Chipfilm (TM)-Technologie
  C. Scherjon, Institut für Mikroelektronik Stuttgart
• 13:40 - 14:00 Druckverfahren für Rapid Prototyping-Prozesse
  A. Kain, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 14:00 - 14:20 Blasformen von Mikrofluidikstrukturen für Lab-on-a-Foil-Applikationen
  M. Focke, C. Müller, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg; R. Zengerle, F. v. Stetten, HSG-IMIT, Villingen-Schwenningen

15:50 - 17:10 Materialien und Technologien
ECC Raum 2

• Sitzungsleiter:
  O. Paul, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
  V. Saile, Forschungszentrum KarlsruheGmbH, Eggenstein-Leopoldshafen
• 15:50 - 16:10 Aktive miniaturisierte Langasit-Strukturen für Anwendungen oberhalb von 600 °C
  J. Sauerwald, D. Richter, H. Fritze, Technische Unversität Clausthal; E. Ansorge, B. Schmidt, Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
• 16:10 - 16:30 Galvanische Replikation von mikro- und nanostrukturierten Bauteilen – Alternatives Fertigungsverfahren für Formeinsätze
  M. Wissmann, M. Guttmann, M. Hartmann, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Eggenstein-Leopoldshafen
• 16:30 - 16:50 Druckverfahren zur Herstellung elektrochemischerEnergiespeicher
  A. Willert, Reinhard Baumann, FhG ENAS, Chemnitz; U. Geyer, André Kreutzer, Technische Universität Chemnitz
• 16:50 - 17:10 Neue Methode zur Kontaktierung isolierter Mikrodrähte
  T. Meiß, T. Rossner, R. Werthschützky, Technische Universität Darmstadt

10:30 - 12:00 Mikromedizin
ECC Raum 3

• Sitzungsleiter:
  J. Burghartz, IMS Chips, Stuttgart
  T. Velten, FhG IBMT, St. Ingbert
• 10:30 - 11:00 „Artificial Micro Organs“ – dielektrophoretische Zellassemblierung in Mikrofluidiksystem für in-vivoähnliche 3D-Zellkultursysteme für das Wirkstoffscreening
  J. Schütte, F. Holzner, K. Benz, C. Freudigmann, B. Hagmeyer, M. Kubon, M. Stelzle, NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut, Reutlingen; J. Böttger, R. Gebhardt, Universität Leipzig; H. Becker, microfluidic ChipShop GmbH, Jena
• 11:00 - 11:20 Mikroviskosimeter zur kontinuierlichen Glucosemessung bei Diabetes mellitus
  M. Birkholz, K.-E. Ehwald, R. Ehwald, M. Kaynak, J. Borngräber, J. Drews, U. Haak, J. Klatt, E. Matthus, G. Schoof, K. Schulz, B. Tillack, W. Winkler, D. Wolansky
• 11:20 - 11:40 Mikrodurchflusszytometer für die fluoreszenzbasierte Blutzelldifferenzierung
  A. Kummrow, M. Frankowski, J. Neukammer, Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Berlin; A. Tuchscheerer, M. Schmidt, Technische Universität Berlin
• 11:40 - 12:00 Aktive intravaskuläre Magnetresonanz-Sonde auf Basis einer optischen Signalübertragung
  S. Fandrey, J. Müller, Technische Universität Hamburg-Harburg; S. Weiss, Philips Research Europe, Hamburg

13:00 - 14:20 BioMEMS
ECC Raum 3

• Sitzungsleiter:
  T. C. Lüth, Technische Universität München
  P. Wagler, Ruhr-Universität Bochum
• 13:00 - 13:20 Kontinuierlich arbeitende Mikrofluidik-Plattform zur Aufreinigung von Biomolekülen
  M. Karle, S. Häberle, HSG-IMIT, Stuttgart; J. Miwa, G. Roth, R. Zengerle, F. von Stetten, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 13:20 - 13:40 Influenza-Virus-Detektion in der Impfstoffherstellung
  A. Balck, M. Michalzik, S. Büttgenbach, Technische Universität Braunschweig
• 13:40 - 14:00 Gezielte chemische Stimulation einzelner Tabak-Protoplasten mittels hochaufgelöster Wirkstoffabgabe
  N. Wangler, O. Brett, M. Laufer, M. Straßer, M. Daub, J. Steigert, A. Dovzhenko, K. Voigt, K. Palme, R. Zengerle, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 14:00 - 14:20 Tubenfunktionsmessungen mit hochflexiblen Folien-DMS auf dem Trommelfell
  W. Saß, C. Moß, J. Müller, Technische Universität Hamburg-Harburg, T. Zehlicke, Bundeswehrkrankenhaus, Hamburg; H. W. Pau, Universität Rostock

15:50 - 17:10 Brennstoffzellen
ECC Raum 3

• Sitzungsleiter:
  J. Müller, Technische Universität Hamburg-Harburg
  M. Richter, FhG IZM, München
• 15:50 - 16:10 Direkt-Methanol-Mikrobrennstoffzellen mit mikrostrukturierten Stromkollektorfolien
  S. Krumbholz, H. Reichl, Technische Universität Berlin; S. Wagner, R. Hahn, FhG IZM, Berlin
• 16:10 - 16:30 Solare Wasserstoffgewinnung für Mikrobrennstoffzellen
  C. Bretthauer, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 16:30 - 16:50 Chipintegrierte PEM-Brennstoffzellen Kaskaden als On-Chip-Energieversorgung
  G. Erdler, Micronas GmbH, Freiburg; L. Uhl, ELBAU GmbH, Berlin; M. Kuhl, Y. Manoli, M. Frank, C. Müller, H. Reinecke, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 16:50 - 17:10 Integrierte Spannungsregelung und Kontrollsystem für chipintegrierte Brennstoffzellen-Kaskaden
  M. Kuhl, M. Frank, Y. Manoli, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg; G. Erdler, Micronas GmbH, Freiburg

10:30 - 12:00 Mikrosystemtechnik-Foundries
Estrelsaal A

• Sitzungsleiter:
  P. Dortans, VDI/VDE Innovation + Technik GmbH, Berlin
  K. Weyer, ELMOS Semiconductor AG, Dortmund
• 10:30 - 11:00 MST Markets, the Role of Foundries
  J. C. Eloy, Yole Development, Lyon/Frankreich
• 11:00 - 11:20 MEMS-Foundry – Erfordernisse und Herausforderungen
  W. Benecke, FhG ISIT, Itzehoe
• 11:20 - 11:40 MEMS/MST als Baustein von „More Than Moore“ und die Realisierung im Wafer-Foundry-Business
  U. Schwarz, X-Fab GmbH, Erfurt
• 11:40 - 12:00 Lab-on-a-Chip Foundry Service: Schnelle kundenspezifische Implementierung miniaturisierter biochemischer Assays
  T. Metz, M. Karle, D. Mark, C. Müller, HSG-IMIT, Freiburg; G. Roth, R. Zengerle, F. von Stetten, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

13:00 - 14:20 Hochfrequenz-Mikrosysteme
Estrelsaal A

• Sitzungsleiter:
  T. Geßner FhG ENAS, Chemnitz
  W. Mokwa, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
• 13:00 - 13:20 CMOS-kompatible RF-MEMS-Schalter
  S. Klein, H. Seidel, Universität des Saarlandes, Saarbrücken; U. Schmid, Technische Universität Wien
• 13:20 - 13:40 Verifizierung eines nichtlinearen Modells für einen gedämpften ohmschen HF-Schalter bei unterschiedlichen Druckbedingungen
  M. Niessner, G. Schrag, G. Wachutka, Technische Universität München; J. Iannacci, Fondazione Bruno Kessler, Trient/Italien
• 13:40 - 14:00 Elektrische Charakterisierung und Bewertung von AVT-Materialien für Hochfrequenz-/High-Speed-Anwendungen
  S. Guttowski, U. Maaß, I. Ndip, H. Reichl, FhG IZM, Berlin
• 14:00 - 14:20 Mikrokomponenten für die NMR-Spektroskopie
  S. Leidich, T. Geßner, Technische Universität Chemnitz; S. Kurth, FhG ENAS, Chemnitz; T. Riemer, Universität Leipzig
  
  

• Sitzungsleiter:
  H. Kück, Universität Stuttgart
  K. Bauer, EADS Deutschland GmbH, München
• 15:50 - 16:10 Druckbeständige thermoelektrische Strömungssensoren mittels Membranperforation
  M. Kropp, N. Hartgenbusch, S. Gu, C. Sosna, R. Buchner, W. Lang, Universität Bremen; C. Kutzner, P. Hauptmann, Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
• 16:10 - 16:30 Hochintegriertes Polymer-basiertes Ventil-Sensor-System
  J. Barth, M. Bonamarte, T. Grund, B. Krevet, R. Ahrens, M. Kohl, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Eggenstein-Leopoldshafen
• 16:30 - 16:50 Verfahren und System zur kontaktfreien und medienunabhängigen Volumenbestimmung in Dosierprozessen
  M. Götz, M. Ashauer, R. Zengerle, HSG-IMIT, Villingen-Schwenningen
• 16:50 - 17:10 Performance of a Planar Micro-Flame Ionization Detector
  W. Kuipers, J. Müller, Technische Universität Hamburg-Harburg