Mikrosystemtechnikkongress

Mittwoch, 14. Oktober

10:00 - 11:50 Mikro-Nano-Integration
ECC Raum 1

• Sitzungsleiter:
  P. Coskina, VDI/VDE Innovation + Technik GmbH, Berlin
  H. Schlaak, Technische Universität Darmstadt
• 10:00 - 10:30 Technologien der Mikro-Nano-Integration als Basis für zukünftige Hightech-Produkte
  K.-D. Lang, FhG IZM, Berlin
• 10:30 - 10:50 Nanostrukturierte Siliziumoberflächen für Mikro-Nano-Integration
  U. Mescheder, A. Kovacs, P. Jonnalagadda, A. Nimo, Hochschule Furtwangen
• 10:50 - 11:10 Polarisationsempfindliche Photodioden und Bildsensoren mit integrierten Nanostrukturen in Standard-CMOS
  S. Junger, W. Tschekalinskij, N. Verwaal, K. Spinnler, N. Weber, FhG IIS, Erlangen
• 11:10 - 11:30 Herstellung und Charakterisierung von photonischen Kristall-Kavitäten im Sichtbaren – Weltrekord
  N. Nüsse, B. Löchel, Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, Berlin; O. Benson, M. Barth, Humboldt-Universität zu Berlin
• 11:30 - 11:50 Anwendungen nanostrukturierter Grenzflächen in Mikrosystemen am Beispiel von Si-Gras und Herausforderungen für die Forschung
  M. Hoffmann, Technische Universität Ilmenau

14:20 - 16:00 Energiegewinnung und autonome Systeme
ECC Raum 1

• Sitzungsleiter:
  M. Hoffmann, Technische Universität Ilmenau
  G. Müller, EADS Deutschland GmbH, München
• 14:20 - 14:40 Textilbasierte Solarzellen – ein Weg zur Energieversorgung von Mikrosystemen
  Y. Zimmermann, A. Neudeck, U. Möhring, Textilforschungsinstitut Thüringen-Vogtland e.V., Greiz; S. Sensfuss, G. Nazmutdinova, H. Schache, Thüringisches Institut für Textil- und Kunststoff-Forschung e.V., Rudolstadt; T. Loewenstein und D. Schlettwein, Universität Gießen
• 14:40 - 15:00 Frequenzstimmbare Generatoren zur Gewinnung von Energie aus Umgebungsvibrationen
  C. Eichhorn, F. Goldschmidtböing, P. Woias, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 15:00 - 15:20 Entwicklung einer hermetischen Glas-Silizium-Verkapselung als Gehäuse für integrierte Lithium-Polymer-Batterien
  K. Marquardt, R. Hahn, M. Wilke, H. Reichl, FhG IZM, Berlin; M. Blechert, Technische Universität Berlin
• 15:20 - 15:40 Energieautarker Montagesensor für fluidische Schnellkupplungen
  M. Kurth, O. Laux, A. Raymond GmbH & Co. KG, Lörrach; A. Bülau, H. Kück, V. Mayer, HSG-IMAT, Stuttgart
• 15:40 - 16:00 Energie-Adaptive Autonome Sensor-Clients
  D. Maurath, M. Raimann,Y. Manoli, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

10:00 - 11:50 Organische Funktionssysteme für die Mikrosystemtechnik
ECC Raum 2

• Sitzungsleiter:
  K. Hecker, Organic Electronics Association/VDMA
  L. Heinze, VDI/VDE Innovation + Technik GmbH, Berlin
• 10:00 - 10:30 Polytronische Mikrosyteme
  K. Bock, Technische Universität Berlin / FhG IZM, Berlin
• 10:30 - 10:50 Verfahren zur Herstellung gedruckter Funktionalitäten
  R. Baumann, A. Willert, FhG ENAS, Chemnitz
• 10:50 -11:10 Bidirektionale OLED-Mikrodisplays: Technologie und Applikationen
  M. Scholles, FhG IPMS, Dresden
• 11:10 - 11:30 Materialien für Polymere MEMS
  H. Böse, FhG ISC, Würzburg
• 11:30 - 11:50 Herstellung von organischen Funktionsschichten für sensorische Elemente
  H. Kück, W. Eberhardt, HSG-IMAT, Stuttgart
  
  

• Sitzungsleiter:
  M. Kohl, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Eggenstein-Leopoldshafen
  U. Wallrabe, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 14:20 - 14:40 Aktivteil eines Schreib-/Lesekopfes mit integriertem Mikroaktor für Festplattenspeicher
  H. Saalfeld, D. Dinulovic, H.-H. Gatzen, Leibniz-Universität Hannover
• 14:40 - 15:00 Konzept und Herstellprozess für neuartige elektrostatische Torsionsaktoren aus Silizium
  J. Fritz, S. Pinter, C. Friese, T. Pirk, Robert Bosch GmbH, Reutlingen/Gerlingen-Schillerhöhe; H. Seidel, Universität des Saarlandes, Saarbrücken
• 15:00 - 15:20 Elektrisch schaltbarer Mikro-Schließmuskel zur Medikamentendosierung
  S. Herrlich, S. Messner, R. Zengerle, S. Haeberle, HSG IMIT, Villingen-Schwenningen
• 15:20 - 15:40 Optimierung und experimentelle Validierung piezoelektrischer Biegeaktoren für Mikropumpen
  M. Herz, D. Horsch, M. Richter, FhG IZM, München; T. Lueth, MIMED Department of Micro Technology and Medical Device Engineering, München
• 15:40 - 16:00 Bistabiles Schalten mit einem thermoelektrisch getriebenen thermopneumatischen Aktuator
  T. Huesgen, J. Ruhhammer, P. Woias, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
  
  

10:00 - 11:50 Intelligente Implantate
ECC Raum 3

• Sitzungsleiter:
  W. Wilke, VDI/VDE Innovation + Technik GmbH, Berlin
  R. Zengerle, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 10:00 - 10:30 Assistenzsysteme im Dienste des Menschen
  C. Gehring, Bundesministerium für Bildung und Forschung, Bonn
• 10:30 - 10:50 MST am Herz: Implantierbarer Sensor zur Bestimmung wichtiger Parameter zur Diagnose und Therapie von Herzinsuffizienz (COMPASS)
  S. Bode, BIOTRONIK GmbH & Co. KG, Berlin
• 10:50 -11:10 MST im Auge: Verbesserte optische Auflösung und erhöhte Lebensdauer von Retinaimplantaten (FutureRet)
  M. Ortmanns, Universität Ulm
• 11:10 - 11:30 MST im Ohr: Elektrodenentwicklung für Cochlea-Implantate zum Erhalt des restlichen Hörvermögens (GentleCI)
  O. Majdani, Medizinische Hochschule Hannover
• 11:30 - 11:50 MST im Gehirn: Neuroprothese für die Epilepsiediagnose und -therapie (incrimp)
  A. Stett, NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut, Reutlingen

14:20 - 16:00 Mikrofluidik
ECC Raum 3

• Sitzungsleiter:
  M. Ritzi-Lehnert, Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH
  L. Weber, thinXXS Microtechnology AG, Zweibrücken
• 14:20 - 14:40 Platform for Lab-on-a-Chip Systems Based on Integrated Active Valves Made in Polymers Suitable for Mass Production
  J. Rupp, M. Schmidt, M. Stumber, P. Rothacher, M. Daub, Robert Bosch GmbH, Gerlingen; R. Zengerle, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 14:40 - 15:00 Autonom arbeitende Funktionsstrukturen für die tropfenbasierte Mikrofluidik – Entwurf, Simulation und Funktionsanalyse
  M. Kielpinski, D. Malsch, G. Mayer, T. Henkel, Institut für Photonische Technologien Jena
• 15:00 - 15:20 Tailored Coatings for Polymer Surface Permeability Control
  M. Schmidt, S. Zinober, R. Müller-Fiedler, Robert Bosch GmbH, Gerlingen-Schillerhöhe; Z. Zheng, Universität Reutlingen; C. Müller, H. Reinecke, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 15:20 - 15:40 StarJet: Pneumatische Generierung von Nano- bis Picoliter-Tropfen flüssigen Lötzinns in einer sternförmigen Düse
  T. Metz, G. Birkle, C. Ziegler, R. Zengerle, P. Koltay, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 15:40 - 16:00 Dosiersystem zur kontaminationsfreien Handhabung von Flüssigkeit
  K.-P. Fritz, H. Kück, V. Mayer, M. Schober, F. Wolter, HSG-IMAT, Stuttgart; T. Grözinger, Universität Stuttgart

10:00 - 11:50 Netzwerke für Ausbildung und Innovation
Estrelsaal A

• Sitzungsleiter:
  S. Büttgenbach, Technische Universität Braunschweig
  J. Russ, Bundesministerium für Bildung und Forschung, Bonn
• 10:00 - 10:30 Gewinner von Morgen durch hohe Innovationsfähigkeit – Hightech-Unternehmen stellen durch Qualifizierung die Weichen für die Zeit nach der Krise
  C. Neuy, IVAM e.V., Dortmund
• 10:30 - 10:50 Branchenanalyse des Kompetenzfelds „Optische Technologien – Mikrosystemtechnik“ in Berlin-Brandenburg
  E. Stens, G. Roessler, TSB Innovationsagentur Berlin GmbH
• 10:50 - 11:10 Wissenstransfer über Ausbildungsnetzwerke am Beispiel des „Ausbildungsnetzwerkes Hochtechnologie Berlin“
  T. Schütz, ZEMI – Zentrum für Mikrosystemtechnik Berlin
• 11:10 - 11:30 Innovationstransfer und Ausbildung in den MNT
  M. Wadewitz, D. Naue, BWAW Bildungswerk für berufsbezogene Aus- und Weiterbildung Thüringen gGmbH, Erfurt
• 11:30 - 11:50 Die Ausbildung von Mikrotechnologen als Kooperationsschwerpunkt im Zentrum für Mikroproduktion e.V.
  M. Kirchhoff, M. Leester-Schädel, Technische Universität Braunschweig

14:20 - 16:00 Optische Mikrosysteme
Estrelsaal A

• Sitzungsleiter:
  H. Lakner, FhG IPMS, Dresden
  J. Mohr, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Eggenstein-Leopoldshafen
• 14:20 - 14:40 Waferlevel-Vakuum gekapselte 2D-Mikrospiegel-Scanner für kompakte Laserprojektions-Displays im Automobil
  U. Hofmann, M. Oldsen, J. Janes, L. Ratzmann, S. Mühlmann, B. Wagner, FhG ISIT, Itzehoe; S. Baumann, OMICRON LASERAGE GmbH, Rodgau-Dudenhofen
• 14:40 - 15:00 Optische Qualität und Systemverhalten von adaptiven Silikonmembranlinsen
  F. Schneider, J. Draheim, P. Waibel, C. Müller, U. Wallrabe, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• 15:00 - 15:20 Entwicklung und Charakterisierung von photonischen Multischichten aus porösem Silizium für biosensorische Anwendungen
  A. Kovacs, P. Jonnalagadda, X. Meng, U. Mescheder, Hochschule Furtwangen
• 15:20 - 15:40 Optische Wellenleiter aus amorphem Silizium
  T. Lipka, A. Harke, O. Horn, J. Amthor, J. Müller, Technische Universität Hamburg-Harburg
• 15:40 - 16:00 Thermooptisch verstimmbare Bragg-Reflektoren aus neuartigen organisch-/ anorganischen Schichtsystemen
  S. Weinberger, D. Lukman, M. Hoffmann, Technische Universität Ilmenau

10:00 - 11:50 microsys Berlin – Mikrosystemtechnik in Berlin-Brandenburg
Estrelsaal B

• Sitzungsleiter:
  G. Tränkle, Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik, Berlin
• 10:00 - 10:10 Mikrosystemtechnik in Berlin-Brandenburg – ein Überblick
  G. Tränkle, Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik, Berlin
• 10:10 - 10:30 FreshScan – Portables optisches Messsystem zur Überwachung des Frischegrades von Fleisch
  R. Thomasius, FhG IZM, Berlin, in Zusammenarbeit mit Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik, Leibniz-Institut für Agrartechnik, Max-Rubner-Institut, Technische Universität Berlin
• 10:30 - 10:50 Plasma-unterstütztes Aufdampfverfahren zur Herstellung dünner hermetischer Borosilikatglasschichten im Wafer-Level-Packaging
  U. Hansen, S. Maus, J. Leib, MSG Lithoglas AG, Berlin; M. Töpper, FhG IZM, Berlin
• 10:50 - 11:10 Design und Montagetechnologien miniaturisierter Laserstrahlquellen für den sichtbaren Spektralbereich
  A. Sahm, C. Fiebig, K. Paschke, G. Erbert, G. Tränkle, Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik, Berlin
• 11:10 - 11:30 High-precision assembly of multiple large optomechanical sub-modules
  R. Schachler, AEMtec GmbH, Berlin; M. Rogge, FINETECH GmbH & Co. KG, Berlin
• 11:30 - 11:50 Hochsensitiver integriert-optischer Ringresonator-Cantilever Sensor
  P. Lützow, H. Heidrich, FhG HHI, Berlin; H. Hoekstra, M. Dijkstra, Universität Twente, Niederlande

14:20 - 16:00 Technologien und Systeme
Estrelsaal B

• Sitzungsleiter:
  U. Mescheder, Hochschule Furtwangen
  R. Müller-Fiedler, Robert-Bosch GmbH, Stuttgart
• 14:20 - 14:40 Untersuchung eines Mikroplasmas für die Anwendung in einem Mikromassenspektrometer
  R. Miguel Ramírez Wong, J. P. Hauschild, E. Wapelhorst, J. Müller, Technische Universität Hamburg-Harburg
• 14:40 - 15:00 Entwicklung und Charakterisierung eines Prozesses zur Herstellung von Mikrolinsen mittels Lithographie, RIE und UV-Abformung
  D. Moser, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg; M. Heinrich, C. Schuster, A. Klukowska, A. Schmidt, Micro Resist Technology GmbH, Berlin
• 15:00 - 15:20 Strength and Reliability Properties of Eutectic Bonded MEMS Structures
  A. Schneider, H. Rank, R. Müller-Fiedler, Robert Bosch GmbH, Reutlingen; O. Wittler, H. Reichl, FhG IZM, Berlin
• 15:20 - 15:40 Entwicklung und Evaluierung einer mikrosystembasierten Anlage zur Kryokonservierung von multizellulären Aggregaten
  A. Katsen-Globa, I. Meiser, O. Kofanova, I. Sébastien, H. Zimmermann, FhG IBMT, St. Ingbert; S. Wiedemeier, J. Metze, Institut für Bioprozess- und Analysenmesstechnik e.V., Heilbad Heiligenstadt; M. M. Weber, E. Weyand, Universitätsklinik Mainz
• 15:40 - 16:00 Rechnergestützte Formoptimierung von urgeformten Mikrobauteilen
  A. Albers, H.-G. Enkler, Universität Karlsruhe (TH)