Programm 15. Oktober

Dienstag, 15. Oktober: Der Tag im Überblick

 

Plenarveranstaltung

Sessions

 

Plenarveranstaltung

9:00 – 10:00

Europasaal

08:30 - 09:00

Begrüßung

W. Mokwa, RWTH Aachen

09:00 - 10:00

Plenarvorträge

Sitzungsleitung: V. Saile, Karlsruher Institut für Technologie (KIT); A. Grabmaier, Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS, Duisburg

09:00 - 09:30

Elektronik und Elektroniksysteme – Schwerpunkte der BMBF-Förderung

H. Bossy, Bundesministerium für Bildung und Forschung, Referat Elektroniksysteme; Elektromobilität, Bonn

09:30 - 10:00

Mikrosystemtechnik für die adaptive Produktion

P. Post, Festo AG & Co. KG, Esslingen

10:00 - 10:30

Kaffeepause

 

Sessions

10.30 - 17.50

 

Mikrofluidik

10:30 - 12:10

Europasaal

Sitzungsleitung: R. Zengerle, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg - IMTEK; G. Gerlach, Technische Universität Dresden

10:30 - 10:50

LabTube – eine innovative Plattform zur Automatisierung von Laborprozessen in Standard-Laborzentrifugen

A. R. Fiebach, S. Zhang, L. Drechsel, A. Kloke, HSG-IMIT, Freiburg; N. Fritzemeier, D. Wulff, Eurofins GeneScan, Freiburg; J. Steigert, Robert Bosch GmbH, Gerlingen-Schillerhöhe; R. Zengerle, F. von Stetten, N. Paust, HSG-IMIT, Freiburg

10:50 - 11:10

Zentrifugo-thermopneumatisches Aliquotieren auf der LabDisk und Anwendung zum DNA-basierten Nachweis verschiedener Bakterien

M. Keller, HSG-IMIT, Villingen-Schwenningen; M. Focke, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg – IMTEK; O. Strohmeier, HSG-IMIT, Villingen-Schwenningen; P. Reith, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg; G. Roth, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg – IMTEK; D. Mark, HSG-IMIT, Villingen-Schwenningen; R. Zengerle, F. von Stetten, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg – IMTEK

11:10 - 11:30

Räumlich modulierte Fluoreszenz für die miniaturisierte Durchflusszytometrie

M. Bassler, K. Myagmar, C. Sommer, S. Quint, Institut für Mikrotechnik GmbH, Mainz

11:30 - 11:50

Fluidischer Partikel-Transport an Grenzflächen durch aktorisch bewegte Mikrohaare mit schaltbarer Nanostrukturierung

A. Rockenbach, RWTH Aachen; M. Kunder, P. Uhlmann, Leibniz-Institut für Polymerforschung Dresden e. V.; A. Hess, C. Brücker, Technische Universität Bergakademie Freiberg; U. Schnakenberg, RWTH Aachen

11:50 - 12:10

Mikrofluidisches Modell der Blut-Hirn-Schranke

H. Kiessling, NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut, Reutlingen; J. Schütte, M. Stelzle, Universität Tübingen

12:10 - 13:20

Mittagspause

 

 

Mikroaktoren

13:20 - 14:40

Europasaal

Sitzungsleitung: W. K. Schomburg, RWTH Aachen; U. Wallrabe, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg - IMTEK

13:20 - 13:40

Mehrachsiger piezoelektrischer Aktuator für optische Komponenten

M. Kampmann, F. Stoppel, H.-J. Quenzer, Fraunhofer ISIT, Itzehoe; D. Kaden, Christian-Albrecht-Universität zu Kiel & Fraunhofer ISIT, Itzehoe; J. Janes, B. Wagner, Fraunhofer ISIT, Itzehoe

13:40 - 14:00

Freiform Einzelschicht-Biegewandler: Neue Design-Freiheit für Piezoaktoren

M. C. Wapler, J. Brunne, U. Wallrabe, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

14:00 - 14:20

Vom Sattel bis zur Sphäre: Piezobiegeaktoren mit variabler Oberflächenkrümmung

M. Stürmer, M. C. Wapler, J. Brunne, U. Wallrabe, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

14:20 - 14:40

Herstellung eines preiswerten, bistabilen Mikroventils mit niedriger Ansteuerspannung

A. Barth, C. Gerhardy, W. K. Schomburg, RWTH Aachen

14:40 - 16:10

Postersession I und Kaffee

 

 

Magnetfeldsensoren

16:10 - 17:50

Europasaal

Sitzungsleitung: H. Seidel, Universität des Saarlandes, Saarbrücken; R. Slatter, Sensitec GmbH, Lahnau

16:10 - 16:30

Magnetische Mikrosysteme auf dem Mars – ein deutscher Beitrag zur „Curiosity Mission"

R. Slatter, Sensitec GmbH, Lahnau

16:30 - 16:50

AMR vs. GMR vs. TMR - Eigenschaften, Unterschiede, Anwendungen

M. Doms, J. Paul, R. Lehndorf, H. Grimm, Sensitec GmbH, Lahnau

16:50 - 17:10

Implementierung einer magnetischen Delta-Sigma-Rückkopplung zur Regelung der Auslese eines AMR-Magnetfeldsensors

M. Kuderer, R. Nouna, M. Keller, Y. Manoli, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg - IMTEK; D. Mintenbeck, HSG-IMIT, Villingen-Schwenningen

17:10 - 17:30

MEMS based magnetoelectric field sensor characteristics after heat treatment

F. Lofink, Fraunhofer ISIT, Itzehoe; S. Marauska, Robert Bosch GmbH, Gerlingen-Schillerhöhe; R. Jahns, C. Kirchhof, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel; M. Claus, Fraunhofer Gesellschaft, Darmstadt; R. Knoechel, E. Quandt, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel; B. Wagner, Fraunhofer ISIT, Itzehoe

17:30 - 17:50

Gedruckte ferritkernbasierte Ringkernspulen als Magnetfeldsensoren

J. Keck, HSG-IMIT, Stuttgart; B. Polzinger, Universität Stuttgart; W. Eberhardt, HSG-IMIT, Stuttgart; H. Kück, Universität Stuttgart; M. Giousouf, A. Kießling, Festo AG & Co. KG, Esslingen; A. Schreivogel, J. Kostelnik, Würth Elektronik GmbH, Niedernhall

19:30

Abendveranstaltung

 

Mikro/Nano-Integration

10:30 - 12:10

Raum K1

Sitzungsleitung: M. Hoffmann, Technische Universität Ilmenau; P. Coskina, VDI/VDE Innovation + Technologie GmbH, Berlin

10:30 - 10:50

Temperaturunabhängige vertikal ausgerichtete Kohlenstoffnanoröhren-Teppiche als Basismaterial in Dehnungsmessstreifen

S. Riekeberg, H. Khiem Trieu, J. Müller, Technische Universität Hamburg-Harburg

10:50 - 11:10

Silicium-Platin Nanostrukturen für hochgradig Infrarot-emissive Oberflächen in Hotplate-Emittern

L. Müller, Technische Universität Ilmenau; I. Käpplinger, Siegert TFT GmbH, Hermsdorf; S. Biermann, Micro-Hybrid Electronic GmbH, Hermsdorf; W. Brode, Siegert TFT GmbH, Hermsdorf; M. Hoffmann, Technische Universität Ilmenau

11:10 - 11:30

Neuartige laserinduzierte Nanodrähte für Gassensorik-Anwendungen

M. Afshar, E. Preiß, T. Sauerwald, D. Feili, H. Seidel, Universität des Saarlandes, Saarbrücken

11:30 - 11:50

Gold-Nanodrähte auf Mikroelektroden zur extrazellulären Ableitung elektrogener Zellen

C. Nick, Hochschule Aschaffenburg; S. Quednau, R. Sarwar, Technische Universität Darmstadt; C. Thielemann, Hochschule Aschaffenburg; H. F. Schlaak, Technische Universität Darmstadt

11:50 - 12:10

Nano-modifiziertes flexibles Mikroelektroden-Array mit integriertem CMOS-Chip für medizinische Anwendungen

N. Winkin, W. Mokwa, RWTH Aachen; U. Gierth, T. Rabbow, A. Michaelis, Fraunhofer IKTS, Dresden

12:10 - 13:20

Mittagspause

 

 

Energy Harvesting

13:20 - 14:40

Raum K1

Sitzungsleitung: P. Woias, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg - IMTEK; H.F. Schlaak, Technische Universität Darmstadt

13:20 - 13:40

Enabling efficient design of Self-Supplied SSHI circuit for Piezoelectric MEMS Energy Harvester

F. Sayed, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg; D. Hohlfeld, M. Eker, Hochschule Reutlingen, E. Rudnyi, CADFEM GmbH, Grafing; T. Bechtold, J. G. Korvink, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg - IMTEK

13:40 - 14:00

Preiswerter und robuster Harvester für Vibrationsenergie

U. M. Mescheder, B. Müller, G. Qingyun, Hochschule Furtwangen

14:00 - 14:20

Experimentelle Evaluierung piezokeramischer Materialien für nicht-lineare Energy Harvesting Vibrationswandler

S. Neiss, F. Goldschmidtböing, P. Woias, M. Kroener, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg – IMTEK

14:20 - 14:40

Doppelresist-Prozess zur Herstellung eines Mikro-Thermogenerators im cross-plane Design mit reflowgelöteten Kontakten

R. Roth, R. Rostek, K. Cobry, P. Woias, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

14:40 - 16:10

Postersession I und Kaffee

 

 

AVT I

16:10 - 17:50

Raum K1

Sitzungsleitung: K.-D. Lang, Fraunhofer IZM, Berlin; H. Kück, HSG IMAT, Stuttgart

16:10 - 16:30

Gehäusetechnologien für SAW-Filter, MEMS Mikrofone und Drucksensoren

G. Feiertag, Hochschule München & EPCOS AG, München; C. Bauer, H. Krueger, A. Leidl, W. Pahl, S. Seitz, M. Schmidt, EPCOS AG, München; T. Waber, Hochschule München

16:30 - 16:50

TSVs mit hohem Aspektverhältnis und Kupfer-Bonden für MEMS

L. Hofmann, M. Baum, Fraunhofer ENAS, Chemnitz; S. E. Schulz, Technische Universität Chemnitz & Fraunhofer ENAS, Chemnitz; M. Wiemer, T. Geßner, Fraunhofer ENAS, Chemnitz

16:50 - 17:10

Aufbau konfigurierbarer Kamera-Mikrosysteme durch Kombination mikrotechnischer Verfahren

M. Barth, HSG-IMIT, Stuttgart; S. Beyer, 2E Mechatronic, Kirchheim unter Teck; H.-G. Graf, IMS CHIPS, Stuttgart; U. Keßler, W. Eberhardt, H. Kück, HSG-IMIT, Stuttgart

17:10 - 17:30

3D-Assemblierungsverfahren für intrakortikale Sondenarrays

F. Barz, O. Paul, P. Ruther, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

17:30 - 17:50 Elektrostatische und fluidische Selbstassemblierung für die hochgenaue Mikro-Montage von MEMS

K. Mouselimis, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg - IMTEK; J. Wilde, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

19:30

Abendveranstaltung

 

 

Optische Mikrosysteme

10:30 - 12:10 Optische Mikrosysteme

Raum K4+K5

Sitzungsleitung: H. Lakner, Fraunhofer IPMS, Dresden; S. Sinziger, Technische Universität Ilmenau

10:30 - 10:50

Optische Mikrosysteme für die hyperspektrale Bildgebung

A. Grewe, S. Sinzinger, M. Hoffmann, C. Endrödy, R. Fütterer, G. Linß, Technische Universität Ilmenau; A. Seifert, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg; E.-B. Kley, Friedrich-Schiller-Universität Jena; P. Nguyen, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg; S. Steiner, Friedrich-Schiller-Universität, Jena

10:50 - 11:10

Flachbauende Multiaperturkameras mit Freiformarrays hergestellt in Wafer Level Technologie

J. Dunkel, A. Brückner, A. Reimann, F. Wippermann, A. Bräuer, Fraunhofer IOF, Jena

11:10 - 11:30

Mikrooptisches head-mounted Display

P. Schreiber, M. Sieler, Fraunhofer IOF, Jena

11:30 - 11:50

Planar integrierte opto-fluidische Mikrosysteme aus PMMA für die Partikelanalyse

M. Hofmann, Technische Universität Ilmenau; R. Müller, CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt; A. Grewe, Technische Universität Ilmenau; O. Brodersen, CiS Institut für Mikrosensorik GmbH, Erfurt; S. Sinzinger, Technische Universität Ilmenau

11:50 - 12:10

Anwendungen Chip-basierter photonischer Systeme aus amorphem Silizium in der Kommunikationstechnik und der Bio-Sensorik

T. Lipka, J. Amthor, H. Khiem Trieu, J. Müller, Technische Universität Hamburg-Harburg

12:10 - 13:20

Mittagspause

 

 

Medizinische Mikrosysteme

13:20 - 14:40

Raum K4+K5

Sitzungsleitung: G. Urban, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg - IMTEK; A. Stett, Naturwissenschaftliches und Medizinisches Institut, Reutlingen

13:20 - 13:40

Ein CMOS Stresskartierungssystem mit 24 FETbasierten Stresssensoren für intelligente kieferorthopädische Brackets

M. Kuhl, P. Gieschke, O. Paul, Y. Manoli, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg - IMTEK

13:40 - 14:00

Smart Tooth

C. Sander, F. Becker, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg; F. Schmidt, B. Lapatki, Universität Ulm; O. Paul, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

14:00 - 14:20

Klinische Erprobung eines intraoralen Medikamentendosiersystems mit telemedizinischem Therapiemonitoring

S. Herrlich, R. Nouna, S. Spieth, R. Zengerle, HSG-IMIT, Villingen-Schwenningen

14:20 - 14:40

Kapazitive integrierte Drucksensoren für ein implantierbares System zur drahtlosen Druckmessung in der Pulmonalarterie

P. Gembaczka, M. Görtz, N. Kordas, R. Lerch, Fraunhofer IMS, Duisburg; J. Muentjes, RWTH Aachen; M. Kraft, Fraunhofer IMS, Duisburg; W. Mokwa, RWTH Aachen

14:40 - 16:10

Postersession I und Kaffee

 

 

Mikrooptische Komponenten

16:10 - 17:50

Raum K4+K5

Sitzungsleitung: T. Otto, Technische Universität Chemnitz; M. Gercken, Christian Albrechts Universität, Kiel

16:10 - 16:30

Adaptive Mikrolinsen basierend auf Aluminiumnitrid Membranen

S. Leopold, D. Pätz, S. Sinzinger, M. Hoffmann, Technische Universität Ilmenau

16:30 - 16:50

Verstimmbare AlN/Diamant-Mikrolinsen für Mikro-Opto-Elektro-Mechanische Systeme

V. Zürbig, Fraunhofer IAF, Freiburg & Albert-Ludwigs-Universität Freiburg - IMTEK; W. Pletschen, J. Hees, R. Sah, N. Heidrich, L. Kirste, Fraunhofer IAF, Freiburg; D. Pätz, S. Leopold, Technische Universität Ilmenau; C. Nebel, Fraunhofer IAF, Freiburg; O. Ambacher, Fraunhofer IAF, Freiburg & Albert-Ludwigs-Universität Freiburg - IMTEK; V. Lebedev, Fraunhofer IAF, Freiburg

16:50 - 17:10 Thermisch aktuierbare asphärische Mikrospiegel

M. Pauls, J. Brunne, U. Wallrabe, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

17:10 - 17:30

7mm-MEMS-Spiegel für einen omnidirektionalen Laserscanner

U. Hofmann, F. Senger, V. Stenchly, J. Hagge, C. Mallas, T. von Wantoch, J. Janes, W. Benecke, Fraunhofer ISIT, Itzehoe

17:30 - 17:50

Steuerung der Peaklage und der Sensitivität von siliziumbasierten porösen optischen Multischichten

A. Kovacs, A. Malisauskaite, A. Ivanov, U. Mescheder, Hochschule Furtwangen

19:30

Abendveranstaltung

 

 

Elektronik-und Mikrosystemfertigung

10:30 - 12:10

Brüsselsaal

Sitzungsleitung: J. Berger, VDI/VDE Innovation + Technik GmbH, Berlin; M. Schellenberger, Fraunhofer IISB, Erlangen

10:30 - 10:50

Gemeinsame Entwicklungsthemen für Halbleiterhersteller und ihre Zulieferer in Deutschland

M. Schellenberger, Fraunhofer IISB, Erlangen

10:50 - 11:10

Optiktechnologie – ein Schlüssel für die Halbleiterfertigung

R. Pforr, Carl Zeiss SMT GmbH, Oberkochen

11:10 - 11:30

Entwicklungen bei der Herstellung von Leistungshalbleitern

O. Pyper, Infineon Dresden GmbH

11:30 - 11:50

Heterogene 3D-Integration für Smart Systems

M. J. Wolf, Fraunhofer IZM-ASSID, Moritzburg

11:50 - 12:10

Smart Packaging in der Fertigung von Elektroniksystemen

J. Wolf, Würth Elektronik GmbH & Co. KG, Rot am See

12:10 - 13:20

Mittagspause

 

 

Produktionsautomatisierung 1

13:20 - 14:40

Brüsselsaal

Sitzungsleitung: L.-G. John, VDI/VDE Innovation + Technik GmbH, Berlin; H.-W. Lahmann, GFE-Gesellschaft für Fertigungstechnik und Entwicklung Schmalkalden e.V.

13:20 - 13:40

Integrierte Ein-Chip-Lösung für die Synchronisation von Hochvoltmotoren im ns-Bereich

M. Liem, MAZ Brandenburg GmbH, Berlin

13:40 - 14:00

Flexible Systeme in Folie – Intelligente Haut für Maschinen

C. Harendt, Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS)

14:00 - 14:20

Sensorbasierte Mikrosysteme zur Überwachung von Fertigungsprozessen

H.-W. Lahmann, GFE-Gesellschaft für Fertigungstechnik und Entwicklung Schmalkalden e.V.

14:20 - 14:40

Hochtemperatursensorik für die industrielle Prozesskontrolle

W. Brode, Siegert Thinfilm Technology GmbH, Hermsdorf

14:40 - 16:10

Postersession I und Kaffee

 

 

Produktionsautomatisierung 2

16:10 - 17:50

Brüsselsaal

Sitzungsleitung: L.-G. John, VDI/VDE Innovation + Technik GmbH, Berlin; H.-W. Lahmann, GFE-Gesellschaft für Fertigungstechnik und Entwicklung Schmalkalden e.V

16:10 - 16:30

Laser-Rangefinder auf Basis von MEMS-Spiegeln für adaptive Robotik

S. Bogatscher, Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

16:30 - 16:50

Absolute Positionsbestimmung mit magnetoresistiven Sensoren

A. Voss, Development & MEAS Deutschland GmbH, Dortmund

16:50 - 17:10

Fernmonitoring komplexer Fertigungsprozesse mit Hochgeschwindigkeits-Bildsensoren

J. Döge, Fraunhofer IIS, Dresden

17:10 - 17:30

Mobile Robotik in der Halbleiterfertigung

S. Pollack, Handhabungs-, Automatisierungs- und Präzionstechnik GmbH Dresden (HAP)

17:30 - 17:50

Neue Märkte durch intelligente Inertialsensorsysteme

S. Schunke, GEMAC-Gesellschaft für Mikroelektronikanwendung mbH, Chemnitz

19:30

Abendveranstaltung

 

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