Programmkomitee

  • Bauer, K. - Universität des Saarlandes
  • Benecke, W. - Fraunhofer Institut für Siliziumtechnologie ISIT
  • Bräuer, A. - Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik
  • Brenner, K.-H. - Universität Heidelberg
  • Burghartz, J. - IMS CHIPS
  • Büttgenbach, S. - Technische Universität Braunschweig
  • Dietzel, A. - TU Braunschweig
  • Foitzik, A. - Technische Fachhochschule Wildau
  • Gatzen, H.-H. - Universität Hannover
  • Gerlach, G. - Technische Universität Dresden
  • Grabmaier, A.- Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen
  • Hampicke, M. - Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration
  • Hauptmann, P.- Otto-von-Guericke-Universität
  • Hiller, K. - Technische Universität Chemnitz
  • Hoffmann, M. - Ruhr-Universität Bochum
  • Hohlfeld, D. - Universität Rostock
  • Kenda, A. - CTR Carinthian Tech Research AG
  • Knechtel, R. - X-FAB Semiconductor Foundries AG
  • Kohl, M. - Karlsruher Institut für Technologie KIT
  • Kraft, M. - Montefiore Institute
  • Kutter, C. - Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT
  • Lakner, H. - Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
  • Lang, W. - Universität Bremen
  • Leinenbach, C.a - Robert Bosch GmbH
  • Leson, A.s - Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
  • Manoli, Y. - Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
  • Mescheder, U. M. - Fachhochschule Furtwangen
  • Mohr, J. - Karlsruher Institut für Technologie KIT
  • Mokwa, W. - RWTH Aachen University
  • Müller, C. - Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
  • Müller, J. - Technische Universität Ilmenau
  • Pagel, L. - Universität Rostock
  • Paul, O. - Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
  • Richter, M. - Fraunhofer Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper
  • Saile, V.- Karlsruher Institut für Technologie KIT
  • Schecker, O. - Hochschule Karlsruhe
  • Schlaak, H. F. - Technische Universität Darmstadt
  • Schmid, U. - Technische Universität Wien
  • Schmidt, B. - Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
  • Schütze, A. - Universität des Saarlandes
  • Schwesinger, N.- Technische Universität München
  • Seidel, H. - Universität des Saarlandes
  • Sinzinger, S. - Technische Universität Ilmenau
  • Stett, A. - Retina Implnat AG
  • Thewes, R. - Technische Universität Berlin
  • Trieu, H. K. - Technische Universität Hamburg-Harburg
  • Vellekoop, M. - Universität Bremen
  • Velten, T. - Fraunhofer-Institut für Biomedizinische Technik
  • Wachutka, G. - Technische Universität München
  • Wagler, P. - Ruhr-Universität Bochum
  • Wagner, B. - Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISiT
  • Wallrabe, U.- Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
  • Werthschützky, R. - Technische Universität Darmstadt
  • Woias, P.- Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
  • Zengerle, R. - Hahn-Schickard-Gesellschaft